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BayMat
Bayreuther Materialzentrum

Cross Sectioning:

Eine erste Möglichkeit der Morphologieuntersuchung von Solarzellen besteht im Schneiden mittels des FIB-Strahls mit darauf folgendem Imaging der Schnittkante mittels REM. Der Vorteil dieser Methode (im Vergleich zu z.B. gebrochenen Substraten) liegt in der Glattheit der Schnittkante, die ein besseres Bild der Morphologie liefert, da Topologieeffekte eliminiert werden können.

Nanotomographie:

Auch wenn bereits mit dieser Methode gute Ergebnisse erzielt werden konnten, birgt sie Nachteile. Ein Nachteil ist z.B., dass das Ende der oberen Schnittkante nicht genau definiert ist, da der FIB-Strahl einen Radius hinterlässt. Die untere Kante ist dagegen gut gegen das Substrat abgegrenzt. Aus diesem Grund wurde die Methode der Nanotomographie bei diesen Proben angewandt. Hierbei wird mit dem REM ein Bild der Oberfläche gemacht und mit dem FIB-Strahl großflächig geätzt. Diese Prozedur wird wiederholt, bis die Probe nach unten durchgeätzt wurde. Die Bilder nach den einzelnen Ätzschritten liefern so eine dreidimensionale Information der Morphologie.

 

Das BayMat im Forschungsbericht 2007

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